科學(xué)家精神是指科學(xué)家在科學(xué)研究中所體現(xiàn)出來的為人類進(jìn)步、科技創(chuàng)新、國家強(qiáng)盛和社會(huì)發(fā)展的精神力量。

尹志堯，中國半導(dǎo)體設(shè)備專家，中微半導(dǎo)體設(shè)備公司（AMEC）創(chuàng)始人及董事長，“中國刻蝕機(jī)之父”。

來源：伊歷史

20年前，我們從一張白紙，籌劃實(shí)現(xiàn)高端芯片設(shè)備的宏偉夢想。我們一次次沖破險(xiǎn)阻而立于不敗之地，這一切都源自我們“攀登勇者，志在巔峰”的雄心壯志和“自強(qiáng)不息，厚德載物”的團(tuán)隊(duì)奮斗精神！

                                          ——尹志堯

尹志堯先生生平

尹志堯青年時(shí)期

1968-1978年，供職于蘭州煉油廠、中科院蘭州物理化學(xué)所。

1978-1980年，在北京大學(xué)化學(xué)系攻讀碩士。

1980年，前往加利福尼亞大學(xué)洛杉磯分校留學(xué)，并獲得物理化學(xué)博士學(xué)位。

1984年，在硅谷Intel公司、LAM研究所、應(yīng)用材料公司等電漿蝕刻供職16年。尹志堯曾發(fā)起硅谷中國工程師協(xié)會(huì)并擔(dān)任主席。

2004年，在上海創(chuàng)辦中微半導(dǎo)體設(shè)備公司（AMEC）創(chuàng)始人，尹志堯擔(dān)任公司董事長兼總裁。

中微半導(dǎo)體設(shè)備公司

2021年，來到中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)，帶來《數(shù)碼時(shí)代的基礎(chǔ)——微觀加工設(shè)備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢、挑戰(zhàn)和機(jī)遇》的主題報(bào)告；同年，擔(dān)任中微公司總經(jīng)理。

2025年1月，任中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司代理董事會(huì)秘書。4月17日晚間，中微公司發(fā)布了2024年度財(cái)報(bào)，顯示公司尹志堯已放棄美籍，恢復(fù)了中國籍。

十年磨劍 科技報(bào)國

尹志堯1944年出生于北京的一個(gè)世家，他的父親是留日回國報(bào)效的電化學(xué)專家。在這樣的家庭熏陶下，他從小就對科學(xué)充滿興趣。1962年，他考入中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)化學(xué)物理系，畢業(yè)后在蘭州煉油廠和中科院蘭州物理化學(xué)所工作了近十年。1978年，他考入北京大學(xué)化學(xué)系攻讀碩士，1980年前往美國加州大學(xué)洛杉磯分校留學(xué)，獲得物理化學(xué)博士學(xué)位。

在硅谷的20年里，尹志堯先后在英特爾、泛林半導(dǎo)體、應(yīng)用材料等國際巨頭工作，從工程師一步步晉升為公司高管，成為半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的領(lǐng)軍人物。他參與并領(lǐng)導(dǎo)了集成電路設(shè)備業(yè)界一半以上成功的等離子體刻蝕設(shè)備開發(fā)，擁有86項(xiàng)美國專利和200多項(xiàng)國際專利，被譽(yù)為“硅谷最有成就的華人之一”。

尹志堯活動(dòng)照

按道理講，尹志堯完全可以在硅谷養(yǎng)老舒舒服服過日子，但他的心里始終裝著一件事：美國技術(shù)再強(qiáng)，那也是美國的，和咱們中國有什么關(guān)系？直到2000年，他在一次展會(huì)上遇到了老同學(xué)江上舟。江上舟的一句話點(diǎn)醒了他：“外國人用刻蝕機(jī)卡我們的脖子，咱們自己啥時(shí)候能造出來？”

這句話成了尹志堯人生的轉(zhuǎn)折點(diǎn)。2004年，60歲的尹志堯做出了一個(gè)重大決定——回國創(chuàng)業(yè)。他帶領(lǐng)15名專業(yè)人才在上海浦東金橋創(chuàng)辦了中微半導(dǎo)體設(shè)備公司。當(dāng)時(shí)，中國的半導(dǎo)體刻蝕機(jī)技術(shù)還遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于國際先進(jìn)水平，市場被國外巨頭壟斷。

尹志堯深知，要想改變這一局面，必須依靠自主創(chuàng)新。他帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)對國外對手的3000多個(gè)專利進(jìn)行了充分研究，在設(shè)計(jì)開發(fā)設(shè)備產(chǎn)品時(shí)，確保有自主的創(chuàng)新性。

尹志堯獲得2021年年度科創(chuàng)領(lǐng)軍者

可能注資的機(jī)構(gòu)和企業(yè)，卻屢屢碰壁。無奈之下，他只好求助于硅谷，靠著硅谷風(fēng)投機(jī)構(gòu)的資金撐過了最難的階段。

2007年，中微團(tuán)隊(duì)研發(fā)出了第一代介質(zhì)刻蝕機(jī)，其獨(dú)特的雙反應(yīng)臺(tái)設(shè)計(jì)，效率比國外同類產(chǎn)品高出30%以上。這一成果讓中微公司在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域嶄露頭角。然而，隨著中微公司的產(chǎn)品逐漸進(jìn)入市場，尹志堯遭到了前東家應(yīng)用材料和泛林公司的專利訴訟。面對這些訴訟，尹志堯毫不退縮，他帶領(lǐng)中微公司聘用了美國一流的律師，用兩年半的時(shí)間和2500萬美元的律師費(fèi)，徹查了600萬件內(nèi)部文件，證明了自己的清白，最終和應(yīng)材和解。對于泛林公司的訴訟，中微公司反訴其專利無效，最終也讓泛林公司敗興而歸。

經(jīng)過多年的努力，中微公司的刻蝕機(jī)技術(shù)已經(jīng)與世界最前沿技術(shù)比肩。目前，尹志堯的團(tuán)隊(duì)已開發(fā)出生產(chǎn)7nm到5納米器件的設(shè)備，在全球半導(dǎo)體設(shè)備市場中占據(jù)了一席之地。

尹志堯活動(dòng)照

多年來，尹志堯一直保留著美國國籍。然而，隨著美國對中國半導(dǎo)體行業(yè)的打壓不斷加劇，特別是2022年10月美國出臺(tái)的對華出口管制措施中的“美國人”條款，讓尹志堯面臨了新的抉擇。

這一條款規(guī)定，未經(jīng)許可的“美國人”不得支持中國境內(nèi)半導(dǎo)體制造設(shè)施的開發(fā)或生產(chǎn)。這意味著，如果尹志堯保留美國國籍，他可能無法繼續(xù)主導(dǎo)中微公司的技術(shù)研發(fā)，這對公司的發(fā)展將產(chǎn)生重大影響。

在這種情況下，2025年4月17日晚，中微公司發(fā)布了2024年年報(bào)，其中最引人矚目的消息莫過于公司創(chuàng)始人、董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯已放棄美國國籍，恢復(fù)為中國國籍。

2024年AMEC年度報(bào)告顯示尹志堯已恢復(fù)中國國籍

楊立銘，理論物理學(xué)家，中科院數(shù)學(xué)物理學(xué)部院士，我國原子核理論研究的開拓者和奠基人之一。  

人生的道路常常是曲折的，但只要有一顆向往科學(xué)的心，就能在前進(jìn)中不斷調(diào)整方位，揚(yáng)長避短，走上有益于社會(huì)與人民的道路。

                                          ——楊立銘

楊立銘先生生平

1919年2月5日，楊立銘出生于南京市溧水區(qū)。他從小勤奮好學(xué)，成績優(yōu)異。在他上高中的時(shí)候，日本侵略軍占領(lǐng)了他的家鄉(xiāng)。經(jīng)過半年的顛沛流離，他逃難到了四川。國家和民族的屈辱，堅(jiān)定了他工業(yè)救國的決心。

1938年畢業(yè)于合川國立二中后被保送進(jìn)中央大學(xué)時(shí)，他選擇了機(jī)械系。

1942年，楊立銘于中央大學(xué)畢業(yè)，在昆明中央機(jī)械廠工作一年，又回到中央大學(xué)機(jī)械系當(dāng)助教。

1944年，楊立銘通過留學(xué)生考試，1945年被公派到英國學(xué)習(xí)。在英國一家工廠實(shí)習(xí)時(shí)，他曾幫助該廠解決了刀具設(shè)計(jì)方面的一個(gè)難題，使該廠不再從美國進(jìn)口這方面的產(chǎn)品。

1946-1949年，楊立銘畢業(yè)于英國愛丁堡大學(xué)研究院，獲博士學(xué)位。

楊立銘（右）和程開甲在英國愛丁堡大學(xué)獲博士學(xué)位時(shí)的合影

楊立銘（左）在80壽辰慶祝會(huì)上與夫人夏培肅留影

工業(yè)救國 廣栽博種

1919年，楊立銘出生于江蘇省溧水縣一個(gè)清貧的知識(shí)分子家庭。高中時(shí)期，他的家鄉(xiāng)不幸被日本侵略者占領(lǐng)，家人不得不背井離鄉(xiāng)，逃往大西南。在四川求學(xué)時(shí)，楊立銘所在的中學(xué)又遭日本飛機(jī)轟炸，老師不幸在爆炸中喪生。這段經(jīng)歷讓楊立銘深感痛苦與震撼，他意識(shí)到日本之所以敢如此肆無忌憚地欺凌中國，是因?yàn)樗麄儞碛袕?qiáng)大的工業(yè)實(shí)力。面對國家的屈辱和民族的苦難，楊立銘在心中默默立下誓言，要學(xué)習(xí)工程，以工業(yè)來拯救國家。1938年，憑借優(yōu)異的成績，楊立銘獲得了重慶中央大學(xué)的保送資格，他毫不猶豫地選擇了機(jī)械系，踏上了工業(yè)救國的道路。

然而，楊立銘的愛好不是工程而是數(shù)理。大學(xué)畢業(yè)后，在昆明中央機(jī)械廠工作的一年經(jīng)歷，讓楊立銘更加明確改學(xué)數(shù)理的決心。他隨后返回母校任機(jī)械系助教，同時(shí)旁聽和自學(xué)數(shù)學(xué)和物理課程。在這個(gè)過程中，楊立銘結(jié)識(shí)了志同道合的夏培肅，兩人均懷揣工業(yè)報(bào)國的夢想，相互激勵(lì)、共同前行，后與夏培肅在愛丁堡喜結(jié)連理。

楊立銘與夏培肅

在愛丁堡大學(xué)，楊立銘師從當(dāng)代物理學(xué)巨匠、量子力學(xué)創(chuàng)始人之一——玻恩教授。楊立銘以超人的毅力，在很短的時(shí)間內(nèi)打下了全面、堅(jiān)實(shí)的理論基礎(chǔ)，于1948年底順利獲得了愛丁堡大學(xué)的理論物理博士學(xué)位，并繼續(xù)留在玻恩身邊擔(dān)任研究助理。在此期間，楊立銘開始在國際理論物理學(xué)界嶄露頭角，許多研究成果得到了國際同行的認(rèn)可。他從運(yùn)動(dòng)方程出發(fā)，首次導(dǎo)出動(dòng)量在坐標(biāo)表象中最普遍的表達(dá)式和量子條件，被多名外國科學(xué)家借鑒運(yùn)用；他在量子場論研究中導(dǎo)出的狄拉克矩陣求跡的普遍公式，也被部分專著作為定理收錄；他在玻恩教授的啟發(fā)下，成功解釋了當(dāng)時(shí)剛發(fā)現(xiàn)的原子核中的幻數(shù)，引起國際學(xué)界重視；他把Born-Green液體理論推廣到了混合液體，并在統(tǒng)計(jì)描述下對流體內(nèi)單個(gè)分子進(jìn)行追蹤，導(dǎo)出了擴(kuò)散系數(shù)。

玻恩高度評價(jià)了他的這位中國弟子，對楊立銘學(xué)術(shù)成就的評價(jià)之高甚至超過他親手指導(dǎo)出來的最得意的博士門生之一——戈佩特·邁耶。楊立銘攻讀博士學(xué)位期間發(fā)表的重要文章，幾乎都是在玻恩的幫助下完成的。當(dāng)楊立銘決定回國后，玻恩同樣表達(dá)了充分的理解和支持，并寫信給他的中國大弟子彭桓武和周培源先生進(jìn)行推薦。在給周培源的信中，玻恩將楊立銘描述為“一個(gè)最有天賦、最勤奮并認(rèn)真盡責(zé)的人”。

程開甲（后左1）與玻恩（前右1）、楊立銘（后中）的合影

1949年10月，新中國成立，身在異國他鄉(xiāng)的楊立銘夫婦心情十分激動(dòng)，徹夜難眠，歸心似箭。1950年冬，周培源赴英訪問，并到愛丁堡大學(xué)拜訪了玻恩教授，向楊立銘、夏培肅夫婦發(fā)出了回國工作的盛情邀請。多年以后，楊立銘仍能清楚地記起當(dāng)年的心情：“當(dāng)時(shí)我們已有較好的工作待遇，但作為中國人，我們想一定要回祖國參加建設(shè)。何況當(dāng)時(shí)解放不久，百廢待興，迫切需要專業(yè)人才。至于回國后的工作條件、生活條件我們沒有特殊要求，只認(rèn)為我們已具備了必要的專業(yè)基礎(chǔ)和科研經(jīng)驗(yàn)，可以在任何地方獨(dú)立開展工作。現(xiàn)在正是我們報(bào)效祖國的時(shí)候。于是我們于1951年秋登上了回國的客輪，從此開始了我們生命中新的一頁。”

回國后，楊立銘先到清華大學(xué)物理系工作，1952年院系調(diào)整后到北京大學(xué)物理系。用楊立銘自己的話說，他回國后的科研工作與之前有了很大的不同。如果把在英國時(shí)期的工作比作“游擊戰(zhàn)”，那么回國后的工作就是“攻堅(jiān)戰(zhàn)”。楊立銘專注于原子核理論方面，特別是核多體理論與核集體運(yùn)動(dòng)。并且他的工作都是與國際上核物理的新發(fā)展相呼應(yīng)的。

20世紀(jì)50年代末期，國際上出現(xiàn)了Brueckner理論，它是核多體理論的重要發(fā)展。楊立銘通過對核內(nèi)多次散射的分析導(dǎo)出了這一理論。60年代，超導(dǎo)體的“對關(guān)聯(lián)”理論在原子核中的應(yīng)用促進(jìn)了原子核理論的又一次重要發(fā)展。楊立銘在1964年提出了處理變形核中核子對相互作用的新方法。這個(gè)方法在有關(guān)計(jì)算中得到了大量的應(yīng)用。從70年代起，楊立銘開展了原子核集體運(yùn)動(dòng)的微觀研究。為了深化對原子核低激發(fā)區(qū)運(yùn)動(dòng)規(guī)律的認(rèn)識(shí)，楊立銘提出了系統(tǒng)的IBM微觀理論。后來，他又對該理論進(jìn)行了擴(kuò)展，成功地處理了滿殼核附近原子核的闖入態(tài)。該理論于80年代發(fā)表后，受到國際同行的高度重視和贊賞。

楊立銘伏案工作

回國后的前幾年，為了滿足國家原子能事業(yè)的需要，楊立銘把絕大部分時(shí)間都花在了培養(yǎng)青年教師和研究生上。他在教學(xué)工作中盡心盡力，先后講授了原子物理學(xué)、量子力學(xué)、群論和原子核物理等課程。還在20世紀(jì)50年代末，和于敏院士合作舉辦全國范圍的核物理講習(xí)班。他們合著的《原子核理論講義》是我國最早的原子核理論教科書，已成為一部經(jīng)典教材。

楊立銘培養(yǎng)了大批理論物理和原子核理論的高水平人才，其中博士、碩士研究生30余名，分布在全國各地，成為各單位的業(yè)務(wù)骨干。楊立銘在帶領(lǐng)年輕人開展研究工作時(shí)，總是充分發(fā)揚(yáng)學(xué)術(shù)民主，以平等的身份開展學(xué)術(shù)討論，鼓勵(lì)年輕人虛心學(xué)習(xí)別人的長處，充分發(fā)揮自己的聰明才智。晚年的楊立銘曾感慨：“當(dāng)我發(fā)現(xiàn)我國核物理界的很多骨干都是我的學(xué)生，這對我是莫大的安慰，回國前的愿望果真實(shí)現(xiàn)了。”

楊立銘作學(xué)術(shù)報(bào)告

科學(xué)無國界，科學(xué)家有祖國。一代又一代中華兒女用實(shí)際行動(dòng)譜寫著愛國奉獻(xiàn)的華章，他們向世人證明：個(gè)人的榮光當(dāng)與祖國的命運(yùn)緊密相連。正是在無數(shù)像尹志堯這樣的歸國奮斗者的努力下，中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正崛起于世界東方，中國的科技創(chuàng)新事業(yè)正邁向新的輝煌。愛國，是他們永不改變的初心；強(qiáng)國，是他們矢志不渝的追求。

楊立銘本可在海外享受優(yōu)渥生活，卻選擇回到一窮二白的祖國，用三十年講臺(tái)生涯為共和國培養(yǎng)出第一批原子能人才。沒有鎂光燈與鮮花，他穿著洗舊的布衫，啃著冷饅頭，將一生心血化作教科書上的公式、實(shí)驗(yàn)室里的數(shù)據(jù)。如今中國科技騰飛的星河中，仍閃耀著他親手點(diǎn)燃的星火。真正的科學(xué)家，永遠(yuǎn)把國家需求寫在個(gè)人榮辱之前。

黨的二十大報(bào)告中提出，“建設(shè)科技強(qiáng)國，必須弘揚(yáng)創(chuàng)新文化，樹立科學(xué)家精神”。這明確指引了科學(xué)家精神在新時(shí)代背景下的重要性，特別是在推動(dòng)中國從科技大國向科技強(qiáng)國轉(zhuǎn)型的過程中，科學(xué)家精神為實(shí)現(xiàn)中華民族偉大復(fù)興的“中國夢”提供了強(qiáng)大的精神動(dòng)力。

資料綜合整理自：

1、60歲回國創(chuàng)業(yè)，78歲撐起中國刻蝕機(jī)一片天！尹志堯的傳奇仍在上演

2、81歲半導(dǎo)體泰斗尹志堯震撼宣布：放棄美國國籍！前半生征服硅谷，后半生拯救中國芯

3、放棄美籍，報(bào)效祖國：尹志堯引領(lǐng)中國半導(dǎo)體崛起

4、楊立銘：原子核理論前沿領(lǐng)域的耕耘者

5、楊立銘院士：只要我想干什么，就一定能干好 | 科學(xué)人生【中國科訊】

來源/編輯：文化宣傳辦     

審核：吳曉琳