科學家精神是指科學家在科學研究中所體現出來的為人類進步、科技創新、國家強盛和社會發展的精神力量。
尹志堯,中國半導體設備專家,中微半導體設備公司(AMEC)創始人及董事長,“中國刻蝕機之父”。
來源:伊歷史
20年前,我們從一張白紙,籌劃實現高端芯片設備的宏偉夢想。我們一次次沖破險阻而立于不敗之地,這一切都源自我們“攀登勇者,志在巔峰”的雄心壯志和“自強不息,厚德載物”的團隊奮斗精神!
——尹志堯
尹志堯先生生平
1944年,尹志堯出生在北平一個愛國世家。
1956年,尹志堯考入北京市第四中學。
1962年,尹志堯考入中國科學技術大學化學物理系,因文革爆發直到1968年春畢業。
尹志堯青年時期
1968-1978年,供職于蘭州煉油廠、中科院蘭州物理化學所。
1978-1980年,在北京大學化學系攻讀碩士。
1980年,前往加利福尼亞大學洛杉磯分校留學,并獲得物理化學博士學位。
1984年,在硅谷Intel公司、LAM研究所、應用材料公司等電漿蝕刻供職16年。尹志堯曾發起硅谷中國工程師協會并擔任主席。
2004年,在上海創辦中微半導體設備公司(AMEC)創始人,尹志堯擔任公司董事長兼總裁。
中微半導體設備公司
2021年,來到中國科學技術大學,帶來《數碼時代的基礎——微觀加工設備產業的發展趨勢、挑戰和機遇》的主題報告;同年,擔任中微公司總經理。
2025年1月,任中微半導體設備(上海)股份有限公司代理董事會秘書。4月17日晚間,中微公司發布了2024年度財報,顯示公司尹志堯已放棄美籍,恢復了中國籍。
十年磨劍 科技報國
尹志堯1944年出生于北京的一個世家,他的父親是留日回國報效的電化學專家。在這樣的家庭熏陶下,他從小就對科學充滿興趣。1962年,他考入中國科學技術大學化學物理系,畢業后在蘭州煉油廠和中科院蘭州物理化學所工作了近十年。1978年,他考入北京大學化學系攻讀碩士,1980年前往美國加州大學洛杉磯分校留學,獲得物理化學博士學位。
在硅谷的20年里,尹志堯先后在英特爾、泛林半導體、應用材料等國際巨頭工作,從工程師一步步晉升為公司高管,成為半導體設備領域的領軍人物。他參與并領導了集成電路設備業界一半以上成功的等離子體刻蝕設備開發,擁有86項美國專利和200多項國際專利,被譽為“硅谷最有成就的華人之一”。
尹志堯活動照
按道理講,尹志堯完全可以在硅谷養老舒舒服服過日子,但他的心里始終裝著一件事:美國技術再強,那也是美國的,和咱們中國有什么關系?直到2000年,他在一次展會上遇到了老同學江上舟。江上舟的一句話點醒了他:“外國人用刻蝕機卡我們的脖子,咱們自己啥時候能造出來?”
這句話成了尹志堯人生的轉折點。2004年,60歲的尹志堯做出了一個重大決定——回國創業。他帶領15名專業人才在上海浦東金橋創辦了中微半導體設備公司。當時,中國的半導體刻蝕機技術還遠遠落后于國際先進水平,市場被國外巨頭壟斷。
尹志堯深知,要想改變這一局面,必須依靠自主創新。他帶領團隊對國外對手的3000多個專利進行了充分研究,在設計開發設備產品時,確保有自主的創新性。
尹志堯獲得2021年年度科創領軍者
可能注資的機構和企業,卻屢屢碰壁。無奈之下,他只好求助于硅谷,靠著硅谷風投機構的資金撐過了最難的階段。
2007年,中微團隊研發出了第一代介質刻蝕機,其獨特的雙反應臺設計,效率比國外同類產品高出30%以上。這一成果讓中微公司在半導體設備領域嶄露頭角。然而,隨著中微公司的產品逐漸進入市場,尹志堯遭到了前東家應用材料和泛林公司的專利訴訟。面對這些訴訟,尹志堯毫不退縮,他帶領中微公司聘用了美國一流的律師,用兩年半的時間和2500萬美元的律師費,徹查了600萬件內部文件,證明了自己的清白,最終和應材和解。對于泛林公司的訴訟,中微公司反訴其專利無效,最終也讓泛林公司敗興而歸。
經過多年的努力,中微公司的刻蝕機技術已經與世界最前沿技術比肩。目前,尹志堯的團隊已開發出生產7nm到5納米器件的設備,在全球半導體設備市場中占據了一席之地。
尹志堯活動照
多年來,尹志堯一直保留著美國國籍。然而,隨著美國對中國半導體行業的打壓不斷加劇,特別是2022年10月美國出臺的對華出口管制措施中的“美國人”條款,讓尹志堯面臨了新的抉擇。
這一條款規定,未經許可的“美國人”不得支持中國境內半導體制造設施的開發或生產。這意味著,如果尹志堯保留美國國籍,他可能無法繼續主導中微公司的技術研發,這對公司的發展將產生重大影響。
在這種情況下,2025年4月17日晚,中微公司發布了2024年年報,其中最引人矚目的消息莫過于公司創始人、董事長兼首席執行官尹志堯已放棄美國國籍,恢復為中國國籍。
2024年AMEC年度報告顯示尹志堯已恢復中國國籍
楊立銘,理論物理學家,中科院數學物理學部院士,我國原子核理論研究的開拓者和奠基人之一。
來源:國開音像社
人生的道路常常是曲折的,但只要有一顆向往科學的心,就能在前進中不斷調整方位,揚長避短,走上有益于社會與人民的道路。
——楊立銘
楊立銘先生生平
1919年2月5日,楊立銘出生于南京市溧水區。他從小勤奮好學,成績優異。在他上高中的時候,日本侵略軍占領了他的家鄉。經過半年的顛沛流離,他逃難到了四川。國家和民族的屈辱,堅定了他工業救國的決心。
1938年畢業于合川國立二中后被保送進中央大學時,他選擇了機械系。
1942年,楊立銘于中央大學畢業,在昆明中央機械廠工作一年,又回到中央大學機械系當助教。
1944年,楊立銘通過留學生考試,1945年被公派到英國學習。在英國一家工廠實習時,他曾幫助該廠解決了刀具設計方面的一個難題,使該廠不再從美國進口這方面的產品。
1946-1949年,楊立銘畢業于英國愛丁堡大學研究院,獲博士學位。
楊立銘(右)和程開甲在英國愛丁堡大學獲博士學位時的合影
1948年,楊立銘在英國愛丁堡大學從事博士后研究。在此期間他在理論物理研究工作中嶄露頭角,發表了論文6篇。
1949-1951年,楊立銘致力于愛丁堡大學博士后研究工作。
1951年,楊立銘滿懷建設新中國的愛國主義熱情回國,任清華大學物理系副教授。
1952年,高校院系調整時到北京大學物理系,先后任副教授、教授、博士生導師。他花了很多精力和時間從事教學工作,先后講授了原子物理、量子力學、群論和原子核理論,并編寫了講義,同時培養了不少研究生。另外,為了中國發展原子能事業的需要,在50年代末,舉辦了全國核物理講習班,楊立銘是主講人之一,他和于敏合作,撰寫了《原子核理論講義》。
1952年,任北京大學物理系副教授、教授、博士生導師。
1982年,楊立銘應邀作為主講人赴意大利Erice國際核物理講習班講授這一理論。
1983年,楊立銘根據國際同行的建議在蘇州主持關于原子核集體態的國際會議。
1985年,IBM創始人之一F·Iachello邀請楊立銘到耶魯大學做訪問教授。
1986年,西德慕尼黑工業大學聘楊立銘為客座教授。
1987年,東京大學校長、IBM另一創始人A·Arima教授主動提出東京大學與北京大學兩校的核理論研究組簽訂為期3年的合作協定,開展原子核集體運動的研究。國際著名核物理學家MIT的H·Feshbach·F·Iachello 和I·Talmi(殼模型的奠基人之一),在他們的報告和文章中對楊立銘的微觀理論分別做出了肯定的評價。
1991年,當選為中國科學院數理學部院士。 2003年1月12日逝世。
楊立銘(左)在80壽辰慶祝會上與夫人夏培肅留影
工業救國 廣栽博種
1919年,楊立銘出生于江蘇省溧水縣一個清貧的知識分子家庭。高中時期,他的家鄉不幸被日本侵略者占領,家人不得不背井離鄉,逃往大西南。在四川求學時,楊立銘所在的中學又遭日本飛機轟炸,老師不幸在爆炸中喪生。這段經歷讓楊立銘深感痛苦與震撼,他意識到日本之所以敢如此肆無忌憚地欺凌中國,是因為他們擁有強大的工業實力。面對國家的屈辱和民族的苦難,楊立銘在心中默默立下誓言,要學習工程,以工業來拯救國家。1938年,憑借優異的成績,楊立銘獲得了重慶中央大學的保送資格,他毫不猶豫地選擇了機械系,踏上了工業救國的道路。
然而,楊立銘的愛好不是工程而是數理。大學畢業后,在昆明中央機械廠工作的一年經歷,讓楊立銘更加明確改學數理的決心。他隨后返回母校任機械系助教,同時旁聽和自學數學和物理課程。在這個過程中,楊立銘結識了志同道合的夏培肅,兩人均懷揣工業報國的夢想,相互激勵、共同前行,后與夏培肅在愛丁堡喜結連理。
楊立銘與夏培肅
在愛丁堡大學,楊立銘師從當代物理學巨匠、量子力學創始人之一——玻恩教授。楊立銘以超人的毅力,在很短的時間內打下了全面、堅實的理論基礎,于1948年底順利獲得了愛丁堡大學的理論物理博士學位,并繼續留在玻恩身邊擔任研究助理。在此期間,楊立銘開始在國際理論物理學界嶄露頭角,許多研究成果得到了國際同行的認可。他從運動方程出發,首次導出動量在坐標表象中最普遍的表達式和量子條件,被多名外國科學家借鑒運用;他在量子場論研究中導出的狄拉克矩陣求跡的普遍公式,也被部分專著作為定理收錄;他在玻恩教授的啟發下,成功解釋了當時剛發現的原子核中的幻數,引起國際學界重視;他把Born-Green液體理論推廣到了混合液體,并在統計描述下對流體內單個分子進行追蹤,導出了擴散系數。
玻恩高度評價了他的這位中國弟子,對楊立銘學術成就的評價之高甚至超過他親手指導出來的最得意的博士門生之一——戈佩特·邁耶。楊立銘攻讀博士學位期間發表的重要文章,幾乎都是在玻恩的幫助下完成的。當楊立銘決定回國后,玻恩同樣表達了充分的理解和支持,并寫信給他的中國大弟子彭桓武和周培源先生進行推薦。在給周培源的信中,玻恩將楊立銘描述為“一個最有天賦、最勤奮并認真盡責的人”。
程開甲(后左1)與玻恩(前右1)、楊立銘(后中)的合影
1949年10月,新中國成立,身在異國他鄉的楊立銘夫婦心情十分激動,徹夜難眠,歸心似箭。1950年冬,周培源赴英訪問,并到愛丁堡大學拜訪了玻恩教授,向楊立銘、夏培肅夫婦發出了回國工作的盛情邀請。多年以后,楊立銘仍能清楚地記起當年的心情:“當時我們已有較好的工作待遇,但作為中國人,我們想一定要回祖國參加建設。何況當時解放不久,百廢待興,迫切需要專業人才。至于回國后的工作條件、生活條件我們沒有特殊要求,只認為我們已具備了必要的專業基礎和科研經驗,可以在任何地方獨立開展工作。現在正是我們報效祖國的時候。于是我們于1951年秋登上了回國的客輪,從此開始了我們生命中新的一頁。”
回國后,楊立銘先到清華大學物理系工作,1952年院系調整后到北京大學物理系。用楊立銘自己的話說,他回國后的科研工作與之前有了很大的不同。如果把在英國時期的工作比作“游擊戰”,那么回國后的工作就是“攻堅戰”。楊立銘專注于原子核理論方面,特別是核多體理論與核集體運動。并且他的工作都是與國際上核物理的新發展相呼應的。
20世紀50年代末期,國際上出現了Brueckner理論,它是核多體理論的重要發展。楊立銘通過對核內多次散射的分析導出了這一理論。60年代,超導體的“對關聯”理論在原子核中的應用促進了原子核理論的又一次重要發展。楊立銘在1964年提出了處理變形核中核子對相互作用的新方法。這個方法在有關計算中得到了大量的應用。從70年代起,楊立銘開展了原子核集體運動的微觀研究。為了深化對原子核低激發區運動規律的認識,楊立銘提出了系統的IBM微觀理論。后來,他又對該理論進行了擴展,成功地處理了滿殼核附近原子核的闖入態。該理論于80年代發表后,受到國際同行的高度重視和贊賞。
楊立銘伏案工作
回國后的前幾年,為了滿足國家原子能事業的需要,楊立銘把絕大部分時間都花在了培養青年教師和研究生上。他在教學工作中盡心盡力,先后講授了原子物理學、量子力學、群論和原子核物理等課程。還在20世紀50年代末,和于敏院士合作舉辦全國范圍的核物理講習班。他們合著的《原子核理論講義》是我國最早的原子核理論教科書,已成為一部經典教材。
楊立銘培養了大批理論物理和原子核理論的高水平人才,其中博士、碩士研究生30余名,分布在全國各地,成為各單位的業務骨干。楊立銘在帶領年輕人開展研究工作時,總是充分發揚學術民主,以平等的身份開展學術討論,鼓勵年輕人虛心學習別人的長處,充分發揮自己的聰明才智。晚年的楊立銘曾感慨:“當我發現我國核物理界的很多骨干都是我的學生,這對我是莫大的安慰,回國前的愿望果真實現了。”
楊立銘作學術報告
科學無國界,科學家有祖國。一代又一代中華兒女用實際行動譜寫著愛國奉獻的華章,他們向世人證明:個人的榮光當與祖國的命運緊密相連。正是在無數像尹志堯這樣的歸國奮斗者的努力下,中國的半導體產業正崛起于世界東方,中國的科技創新事業正邁向新的輝煌。愛國,是他們永不改變的初心;強國,是他們矢志不渝的追求。
楊立銘本可在海外享受優渥生活,卻選擇回到一窮二白的祖國,用三十年講臺生涯為共和國培養出第一批原子能人才。沒有鎂光燈與鮮花,他穿著洗舊的布衫,啃著冷饅頭,將一生心血化作教科書上的公式、實驗室里的數據。如今中國科技騰飛的星河中,仍閃耀著他親手點燃的星火。真正的科學家,永遠把國家需求寫在個人榮辱之前。
黨的二十大報告中提出,“建設科技強國,必須弘揚創新文化,樹立科學家精神”。這明確指引了科學家精神在新時代背景下的重要性,特別是在推動中國從科技大國向科技強國轉型的過程中,科學家精神為實現中華民族偉大復興的“中國夢”提供了強大的精神動力。
資料綜合整理自:
1、60歲回國創業,78歲撐起中國刻蝕機一片天!尹志堯的傳奇仍在上演
2、81歲半導體泰斗尹志堯震撼宣布:放棄美國國籍!前半生征服硅谷,后半生拯救中國芯
3、放棄美籍,報效祖國:尹志堯引領中國半導體崛起
4、楊立銘:原子核理論前沿領域的耕耘者
5、楊立銘院士:只要我想干什么,就一定能干好 | 科學人生【中國科訊】
來源/編輯:文化宣傳辦
審核:吳曉琳