鳳凰山腳下,深圳先進(jìn)電子材料國際創(chuàng)新研究院(簡稱“電子材料院”)的展廳內(nèi)擺放著幾瓶“神奇膠水”。它看似平常無奇,卻已從實(shí)驗(yàn)室走向產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,替代了以毫升計(jì)價(jià)、價(jià)格高昂的進(jìn)口產(chǎn)品,在芯片加工過程中發(fā)揮關(guān)鍵作用。

電子材料院團(tuán)隊(duì)研發(fā)的臨時(shí)鍵合材料,可以支持百微米及以下的超薄芯片加工,并且與國外同類產(chǎn)品相比具有更高的耐熱性和耐化性,可在160℃實(shí)現(xiàn)低溫解鍵合,打破了國外長期壟斷。
中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院材料所所長、電子材料院院長 孫蓉近日在接受記者采訪時(shí)表示,深圳電子材料院是中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院(簡稱“深圳先進(jìn)院”)和深圳市寶安區(qū)人民政府于2019年合作共建的深圳市十大基礎(chǔ)研究機(jī)構(gòu)之一。
該院既有別于高校和科研院所,也有別于企業(yè)的研發(fā)機(jī)構(gòu),而是依托深圳先進(jìn)院先進(jìn)材料研究中心17年來的科研、教育基礎(chǔ),從需求端凝煉“根問題”,突破先進(jìn)電子封裝材料核心技術(shù),為產(chǎn)業(yè)界提供更多“彈藥”,并聯(lián)動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈上下游共同推動(dòng)高端電子材料產(chǎn)業(yè)化,目標(biāo)是建成國際一流的電子封裝材料技術(shù)研發(fā)與轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化平臺(tái)。
今年,該院建成我國首個(gè)集成電路高端封裝材料“理化-檢測-中試-驗(yàn)證”全閉環(huán)平臺(tái),可全面支撐國內(nèi)相關(guān)企業(yè)的材料驗(yàn)證需求,加速關(guān)鍵核心技術(shù)材料產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。

電子材料院成立于2019年,是中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院(簡稱“深圳先進(jìn)院”)和深圳市寶安區(qū)人民政府合作共建的深圳市十大基礎(chǔ)研究機(jī)構(gòu)之一,也是寶安區(qū)首家應(yīng)用型基礎(chǔ)研究機(jī)構(gòu)。
打產(chǎn)品仗,找“根問題”
近年來,新能源汽車普及率提高、ChatGPT火爆等等,都對(duì)電子元器件的小型化、多功能化、大算力都帶來更多需求。盡管高端先進(jìn)電子封裝材料產(chǎn)業(yè)前景強(qiáng)大,但絕大部分關(guān)鍵電子封裝材料被日本、美國、德國等發(fā)達(dá)國家壟斷。
2006年加入中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院的孫蓉,2008年帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)參與國家科技部“02專項(xiàng)”(全稱“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項(xiàng)),從此深耕集成電路封裝材料領(lǐng)域,一邊研究材料,一邊服務(wù)產(chǎn)業(yè),十幾年來參與、見證了我國先進(jìn)電子封裝產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
“在集成電路領(lǐng)域,需求端的巨大變化倒逼著材料端、制造端進(jìn)行顛覆性創(chuàng)新。”孫蓉說,2018年時(shí),我國先進(jìn)電子封裝工藝、設(shè)備都在一定程度上實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化,但在先進(jìn)電子封裝材料領(lǐng)域,依然由美、歐、日主導(dǎo)。我國在先進(jìn)電子封裝材料起步較晚,基礎(chǔ)比較薄弱,彼時(shí)未出現(xiàn)有競爭力的玩家,需要研發(fā)人員和業(yè)界共同努力。
中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院材料所所長、電子材料院院長孫蓉。
電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)達(dá)的深圳,近年在先進(jìn)電子材料領(lǐng)域加強(qiáng)前瞻布局。
2018年,深圳先進(jìn)院材料所由中國工程院原副院長干勇院士和深圳先進(jìn)院院長樊建平為其揭牌。
2019年4月,在第一屆粵港澳大灣區(qū)先進(jìn)電子材料高峰論壇上,深圳先進(jìn)院與寶安區(qū)人民政府簽署了共建電子材料院的合作協(xié)議。
2019年5月,電子材料院迅速揭牌成立,并宣告開始運(yùn)作。
2020年底,電子材料院正式入駐鳳凰山腳下的龍王廟智造小鎮(zhèn)產(chǎn)業(yè)園,成為寶安區(qū)首家應(yīng)用型基礎(chǔ)研究機(jī)構(gòu)。
4年來,電子材料院團(tuán)隊(duì)圍繞電子封裝材料中的基礎(chǔ)科學(xué)問題開展攻關(guān),累計(jì)發(fā)表論文493篇,其中SCI論文326篇,EI 論文160篇,并且在2022年度國際頂級(jí)封裝會(huì)議期刊(ICEPT)會(huì)議論文接收待收錄78篇,數(shù)量位居全國第一;累計(jì)申請專利277件(授權(quán)38件),PCT專利16件;牽頭承擔(dān)和參與94項(xiàng)國家級(jí)、省部級(jí)、市級(jí)科研項(xiàng)目的研究工作,承擔(dān)先進(jìn)電子封裝材料國家地方聯(lián)合工程實(shí)驗(yàn)室、中科院-香港中文大學(xué)高密度電子封裝材料與器件聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室、廣東省高密度電子封裝關(guān)鍵材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等多個(gè)平臺(tái)的建設(shè)。
除了立足于基礎(chǔ)科學(xué)問題的解決,電子材料院團(tuán)隊(duì)還與下游用戶企業(yè)進(jìn)行緊密合作,探索先進(jìn)電子封裝材料規(guī)模化穩(wěn)定生產(chǎn)工藝,推進(jìn)技術(shù)成果的轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化。該院歷經(jīng)多次試錯(cuò)開發(fā)出的激光解鍵合和熱滑移解鍵合臨時(shí)鍵合材料,均通過多家行業(yè)龍頭封裝客戶的工藝驗(yàn)證,并成功導(dǎo)入產(chǎn)線,通過合作企業(yè)深圳市化訊半導(dǎo)體材料有限公司實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)和銷售,供應(yīng)國內(nèi)龍頭企業(yè)。

電子材料院研發(fā)并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的臨時(shí)鍵合膠。
電子材料院副院長張國平介紹:“如果沒有臨時(shí)鍵合材料的支撐,超薄芯片在加工過程中的破損率將會(huì)提高,導(dǎo)致單顆芯片的成本上升,最終難以實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)。國內(nèi)芯片廠商使用的臨時(shí)鍵合材料長期依賴進(jìn)口,而這款材料是芯片生產(chǎn)企業(yè)急需的。”
孫蓉告訴記者:“為什么要在前線打產(chǎn)品仗?我們是為了發(fā)現(xiàn)真正的基礎(chǔ)研究問題。要在先進(jìn)電子封裝材料領(lǐng)域想領(lǐng)先,就必須從基礎(chǔ)研究做起,但基礎(chǔ)研究不是拍腦袋做的,真正在市場上打幾場仗,才能知道真正的需求在哪里。”
4年來,電子材料院秉承“需求牽引,市場(應(yīng)用)決定技術(shù)”的原則,圍繞集成電路產(chǎn)業(yè)先進(jìn)封裝的關(guān)鍵電子材料開展研發(fā),目前重點(diǎn)布局晶圓級(jí)、芯片級(jí)、系統(tǒng)級(jí)關(guān)鍵電子封裝材料,致力于實(shí)現(xiàn)高端電子封裝材料的產(chǎn)業(yè)化。今年初,“電子材料院在集成電路相關(guān)電子化學(xué)品領(lǐng)域取得良好進(jìn)展”還被寫入2023年深圳市政府工作報(bào)告。
孫蓉告訴記者,攻破關(guān)鍵核心技術(shù)的進(jìn)展是緩慢的,不可能一蹴而就。經(jīng)過十多年積累,電子材料院除了此前實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的兩款臨時(shí)鍵合膠,今年預(yù)計(jì)還有兩個(gè)材料實(shí)現(xiàn)商品化。

電子材料院研發(fā)的芯片級(jí)底部填充膠。
打通材料應(yīng)用“最后一公里”
科研成果實(shí)驗(yàn)室走向產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用固然重要,但孫蓉更為看重的是,打造一個(gè)集成電路高端封裝材料的“理化-檢測-中試-驗(yàn)證”全鏈條閉環(huán)平臺(tái),打通材料應(yīng)用“最后一公里”,從而加速高端電子封裝材料的產(chǎn)業(yè)化。
如今,電子材料院位于寶安區(qū)的4.3萬平方米園區(qū)中,已建成先進(jìn)電子封裝材料“研發(fā)-檢測-中試-驗(yàn)證”全鏈條平臺(tái),這也是成為國內(nèi)首家覆蓋理化實(shí)驗(yàn)、分析檢測、中試放大、工藝驗(yàn)證全流程先進(jìn)電子封裝材料公共服務(wù)平臺(tái)。

電子材料院2023年建成國內(nèi)首個(gè)先進(jìn)電子封裝材料“研發(fā)-檢測-中試-驗(yàn)證”全鏈條閉環(huán)平臺(tái)。
“每個(gè)先進(jìn)電子封裝材料如果不經(jīng)過成千上萬次試錯(cuò),沒有企業(yè)敢用,這個(gè)過程沒有捷徑可走。我們的策略是‘用空間換時(shí)間‘。”孫蓉說,在材料和化學(xué)領(lǐng)域,從小試到中試有一個(gè)“死亡谷”,比如一個(gè)機(jī)構(gòu)能做出50毫升的臨時(shí)鍵合膠性能不錯(cuò),但未必能說明它50升時(shí)依然如此,中間存在巨大的風(fēng)險(xiǎn),這就需要一次次的驗(yàn)證。
據(jù)張國平介紹,團(tuán)隊(duì)每研發(fā)出一版樣品,都需要驗(yàn)證其是否可用,而這一環(huán)節(jié)曾經(jīng)是團(tuán)隊(duì)面臨的瓶頸。在很長一段時(shí)間內(nèi),他的日常工作是研發(fā)、送樣、等待驗(yàn)證、繼續(xù)研發(fā)。“過去,國內(nèi)沒有公共封裝材料驗(yàn)證平臺(tái),只能依賴量產(chǎn)代工企業(yè)空余機(jī)時(shí)的寶貴測試機(jī)會(huì)。經(jīng)常在長達(dá)兩三個(gè)月的時(shí)間內(nèi),我們一邊優(yōu)化樣品,一邊等待檢測方的一句Yes or No。”
如今,科研人員不出園區(qū)就可以完成理化、檢測、中試、驗(yàn)證等各類工作,有望大大縮短高端電子材料的研發(fā)周期。
該平臺(tái)包含倒裝封裝試驗(yàn)線和晶圓級(jí)封裝試驗(yàn)線,配合理化實(shí)驗(yàn)、中試放大以及分析檢測平臺(tái),構(gòu)建從原材料檢測到成品分析、器件研制、失效分析的封裝材料全流程公共服務(wù)平臺(tái),形成封裝材料研發(fā)閉環(huán),可加速高端電子封裝材料的產(chǎn)業(yè)化。
孫蓉告訴記者:“深圳的創(chuàng)新環(huán)境非常好,科技政策寬松,對(duì)科研機(jī)構(gòu)支持力度很大。得益于這樣寬松的環(huán)境,以及良好的市場氛圍,我們團(tuán)隊(duì)堅(jiān)持攻堅(jiān)集成電路封裝材料基礎(chǔ)研究和產(chǎn)業(yè)化17年,打下了良好的基礎(chǔ),并在寶安區(qū)人民政府支持下,在福永建立了電子材料院,建起了全流程先進(jìn)電子封裝材料公共服務(wù)平臺(tái)。”
據(jù)介紹,在電子材料院建立之初,寶安區(qū)不僅給予資金支持,還放手讓科研團(tuán)隊(duì)主持龍王廟園區(qū)裝修,讓“用家”自主地按照實(shí)際需求打造實(shí)驗(yàn)室,無論硬件還是軟件方面都達(dá)到國際先進(jìn)水平。最終,電子材料院成功搭建了貫穿“研發(fā)-檢測-中試-驗(yàn)證”環(huán)節(jié)的公共技術(shù)平臺(tái)。
孫蓉表示,希望利用該平臺(tái)聯(lián)合頭部企業(yè)共同開展研發(fā)、中試、驗(yàn)證工作,破除技術(shù)孤島,將科研成果應(yīng)用至產(chǎn)業(yè)中去,打通科技成果轉(zhuǎn)化的梗阻,使創(chuàng)新成果更快轉(zhuǎn)化為現(xiàn)實(shí)生產(chǎn)力。
科技自立自強(qiáng)
需科學(xué)家、企業(yè)家“雙向奔赴”
制造業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)的主體,是立國之本、興國之器、強(qiáng)國之基。
實(shí)現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng),加快建設(shè)制造強(qiáng)國,必須堅(jiān)持創(chuàng)新鏈、產(chǎn)業(yè)鏈、人才鏈一體部署,推動(dòng)深度融合。
在孫蓉看來,科技自立自強(qiáng)需要科學(xué)家、企業(yè)家的“雙向奔赴”,產(chǎn)業(yè)界要真正能夠做有關(guān)鍵核心技術(shù)的高端制造業(yè),科研機(jī)構(gòu)也要精準(zhǔn)找到企業(yè)在向高端制造業(yè)轉(zhuǎn)型過程中的有關(guān)基礎(chǔ)研究的需求,一方主動(dòng)提問題,一方主動(dòng)找問題并解決。
正如樊建平曾指出的:“基礎(chǔ)科研和產(chǎn)業(yè)化可以螺旋式迭代、牽引,從產(chǎn)業(yè)端誕生的需求可以牽動(dòng)基礎(chǔ)科研,基礎(chǔ)科研也可以推動(dòng)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,從而更有利于實(shí)現(xiàn)科研成果產(chǎn)業(yè)化。”
近年來,電子材料院團(tuán)隊(duì)已實(shí)現(xiàn)專利技術(shù)轉(zhuǎn)讓6000余萬元,孵化高端電子封裝材料企業(yè)2家,建立企業(yè)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室4個(gè),并與多家行業(yè)內(nèi)相關(guān)龍頭企業(yè)簽訂合作框架協(xié)議。
值得關(guān)注的是,電子材料院所處的寶安區(qū),是我國電子信息產(chǎn)業(yè)大區(qū),國家級(jí)專精特新“小巨人”企業(yè)數(shù)量穩(wěn)居全國區(qū)縣第一,國家高新技術(shù)企業(yè)數(shù)量連續(xù)6年全國區(qū)縣級(jí)第一。
孫蓉告訴記者,寶安有良好的產(chǎn)業(yè)環(huán)境,甚至可以說是臥虎藏龍,不乏一些電子陶瓷領(lǐng)域的“隱形冠軍”。“這里的產(chǎn)業(yè)氛圍和產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)可以為我們的成長提供肥沃的土壤,而寶安也非常需要科研機(jī)構(gòu)來支撐產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展,這樣我們雙方一拍即合。”
以深圳為中心,電子材料院吸引骨干企業(yè)在寶安建立研發(fā)中心、公司,由此建立產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同創(chuàng)新機(jī)制,打造綠色生態(tài)圈。目前,該院周圍已經(jīng)聚集多家與之相關(guān)的企業(yè),有需求過條街就能溝通,未來將進(jìn)一步構(gòu)建以電子材料院為核心的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園區(qū),推動(dòng)集成電路材料、電子信息材料、5G材料產(chǎn)業(yè)的協(xié)同與集群發(fā)展。
孫蓉認(rèn)為,在中國超大市場的需求牽引下,電子材料院結(jié)合市場需求進(jìn)行創(chuàng)新,以建成國際一流的電子封裝材料技術(shù)研發(fā)與轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化平臺(tái)為目標(biāo),有信心從“跟跑”“并跑”到“領(lǐng)跑”。