深圳先進電子材料國際創(chuàng)新研究院擬對“步進式投影曝光機”項目進行采購，現(xiàn)將需求公示如下：

（一）項目基本信息

項目名稱：步進式投影曝光機

是否接受進口設(shè)備：是

（二）采購需求概況

采購此設(shè)備用于光刻材料的驗證，用于高效、制程化、標準化的制備微米級的光刻圖案，制備RDL線路以及各種工藝線路。

采購內(nèi)容和數(shù)量：光刻機主體系統(tǒng)一套，包括硅片自動傳輸模塊，光學對準模塊以及光學系統(tǒng)（配IGH光線）；邊緣曝光以及邊緣保護系統(tǒng)一套；環(huán)境減震系統(tǒng)一套；主控計算機一臺；控制軟件一套。 

簡要技術(shù)需求：1：分辨率1um; 2:可兼容8寸/12寸晶圓；3.自動光刻實驗操作，4:兼容I，G，H線光源。

（三）公示期限（不少于三個工作日）

2020年11月13日至2020年11月18日

任何供應(yīng)商、單位或者個人對公示內(nèi)容有異議的，請在公示期內(nèi)以書面形式將意見反饋至采購人、同級財政部門。

（四）采購單位聯(lián)系方式

采購單位：深圳先進電子材料國際創(chuàng)新研究院

聯(lián)系人: 姜老師

聯(lián)系方式：0755-86392103

附件：【騰訊文檔】供應(yīng)商信息表https://docs.qq.com/sheet/DQVlMeW5WUmFzU3lO，請自行下載。